设备展示
无尘室(CleanRoom),亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。无尘室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
注意:
1.作业人员进入无尘室,必须更换好无尘衣、鞋,戴好手套、口罩等。并经风淋室方可进入无尘室。
2.没有穿袜子、身上有尘、油污者不准进入无尘室。
3.不准在无尘室闲坐,闲谈、大声讲话,不可进行与工作无关的活动。
4.作业工具必须在无尘室外擦干净,进更衣间再用无尘纸擦干净,并通过风淋室方可入内。
5.安装、维修材料必须去掉纸箱及其它包装,再擦干净并通过风淋室方可入内。
6.维修人员、安装人员严禁在工作时到处乱窜,特别是操作间(如果是在灰区工作时,严禁进入操作区,必要时请操作员或工程师协助)。
7.在无尘室维修、安装,应注意工作时所产生的尘埃,如发现尘埃应用吸尘机吸掉,并用无尘纸擦干净。
8.在操作区维修、安装时,应通知操作人员对产品搬移或密封处理好方能开始工作。
9.在无尘室维修、安装等工作,应尽量在灰区完成,并控制好房间卫生。
10.非因工作需要的,严禁进入无尘室。
11.未经批准的,严禁带其他人员进入无尘室。
12.施工完毕,必须把场地擦干净,并把废料等物清理包好带出无尘室。
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